主要技术指标
1.晶体生长速度范围: 0.01~100mm/h
2.滑座快速升降范围: 可采用电子手脉触发器或者按钮开关点动(~100mm/min)
3.晶体旋转速度范围: 1~100r/min
4.籽晶杆在炉内有效行程: >=400mm
5.籽晶杆低速爬行: <0.001mm