LJ-B(J)60型单晶炉
LJ-B60激光晶体生长炉
主要技术指标
1.感应加热电源: 50KW/2.5KHz
2.最高熔炼温度: 2100℃
3.冷炉极限真空度: 6.67x10-3 Pa
4.充气压力: 0.08 MPa
5.炉膛直径: ¢600mm
6.炉膛高度: 1500(1200)mm
7.籽晶杆拉速: 0.5~60mm/h
8.籽晶杆快速: 手动+电动
9.籽晶杆转速: 1~50rpm(予留)
10.籽晶杆炉内引程: 1000(700)mm
11.冷却水压: 0.15~0.2MPa
12.主机高度: 3850(3200)mm
LJ-J60激光晶体生长炉
主要技术指标:
1.电阻加热电源 50KVA
2.冷炉极限真空度: 6.67x10-3Pa
3.充气压力: 0.08 MPa
4.主炉室内径: ¢600mm
5.主炉室内腔高度: 1000mm
6.籽晶提拉速度(慢速): 0.1~10mm/h
7.籽晶提拉速度(快速): 手动
8.籽晶杆转速: 1~120rpm
9.籽晶炉内有效行程: 480mm
10.坩埚杆炉内行程: 150mm
11.电极支撑中心距: 500mm
12.水压: 0.13~0.18Mpa 5T/h