LJ-XJ80型坩埚下降法晶体生长炉
主要技术指标
1.电阻加热电源 100KVA
2.冷炉极限真空度： 3×10-3Pa
3.炉体尺寸： ￠800x1500mm
4.炉体升降高度： 1600mm
5.坩埚杆下降慢速 0.1～10mm/h
6.坩埚杆升降快速 电动+手动
7.坩埚杆炉内行程 ～450mm
8.电极支承中心距 400mm
9.冷却水压 0.15～0.3MPa 5T/h
10.主机外型尺寸 2000×1800×4300
