LJ-PVT70型碳化硅炉

LJ-PVT70型碳化硅炉

现价:¥0.00

添加时间:2016-08-24 21:27:27

主要技术指标:

 

 1.高频加热功率电源:            10kHz,40KW

 2.最高熔炼温度:                2300℃

 3.冷炉极限真空度:              2×10-4Pa

 4.炉体尺寸:                    ¢700x1150mm

 5.籽晶杆拉速:                  0.02~5mm/h

 6.籽晶杆快速:                   ~200mm/min

 7.籽晶杆炉内引程:              400mm

 8.坩埚杆升速:                  0.02~5mm/h

 9.坩埚杆快速:                   ~200mm/min

10.坩埚杆转速:                  0~30rpm

11.坩埚杆炉内行程:              500mm

12.水压:                        0.15~0.2MPa

13.主机外型尺寸(长×宽×高):  950×1800×3300mm

上一个:坩埚运动装置