LJ-PVT70型碳化硅炉

主要技术指标：

 

 1．高频加热功率电源：            10kHz，40KW

 2．最高熔炼温度：                2300℃

 3．冷炉极限真空度：              2×10-4Pa

 4．炉体尺寸：                    ￠700x1150mm

 5．籽晶杆拉速：                  0.02～5mm/h

 6．籽晶杆快速：                   ～200mm/min

 7．籽晶杆炉内引程：              400mm

 8．坩埚杆升速：                  0.02～5mm/h

 9．坩埚杆快速：                   ～200mm/min

10．坩埚杆转速：                  0～30rpm

11．坩埚杆炉内行程：              500mm

12．水压：                        0.15～0.2MPa

13．主机外型尺寸（长×宽×高）：  950×1800×3300mm