泡生法晶体生长设备

2011-07-09

    我公司泡生法晶体炉(含工艺)已安装调试完成,拉晶试验取得圆满成功,现已批量销售,欢迎广大新老客户前来考察选购。

LJ-B72型单晶炉(泡生法晶体炉)主要参数指标

一、简介

LJ-B72型单晶炉,是用泡生法工艺生长高品质蓝宝石单晶材料的设备。主要包括控制系统、真空系统、加热体、冷却系统和热防护系统等,可在真空或充入惰性气体,在可控的局部压力状态下运行。

本设备采用钨电阻直流加热电源、电源输出精度高,采用欧陆微处理器与工业控制计算机闭环控制炉温,使结晶体按着一定的直径进行控制生长。

本设备的机械传动系统采用进口交流伺服电机驱动,可在一定的范围内进行无级调速,运动平稳可靠,提拉速度及旋转速度稳定度高,长时间运行无爬行,无震动。

控制系统由速度控制、温度控制、炉内压力控制,晶体生长重量、冷却水压力及温度监测等部分组成,其中硬件包括工业计算机(含液晶触摸屏)、驱动器、AD采集卡及变换电路、线性功率电源等。

二、技术指标

 1.电源:                          三相四线制 50Hz 380 ±10%

  2. 直流电阻加热                    72KW12V6000A

 3.最高加热温度                    2100℃ 控温分辨率0.1

 4.冷炉极限真空度:                6.67×10-3Pa

 5.充气压力:                      0.08 MPa

 6.最大装料量:                    35Kg   

 7.主炉室内径:                      ¢720mm

 8.主炉室高度:                     950mm

 9.籽晶杆慢速                       0.102.50mm/h

10.籽晶杆快速                      120mm/min(手动+电动)

11.籽晶杆转速                      18rpm

12.籽晶杆行程                      350mm