LJ-XJ80型坩埚下降法单晶炉

2011-05-05

一、LJ-XJ80型单晶炉主要技术指标:

 

    商品简介:LJ-XJ80型单晶炉使用直流电阻加热方式,采用坩埚下降法工艺生长氟化物单晶材料,全程运行在高真空状态下,可手动、自动功率控制、温度控制,传动机构承载大、运行精度高。

 

主要技术指标

 1.电阻加热电源:          100KVA 

 2.冷炉极限真空度:       3×10-3Pa

 3.炉体尺寸:             ¢800x1500mm

 4. 炉体升降高度:         1600mm

 5.坩埚杆下降慢速:        0.1~10mm/h  

 6.坩埚杆升降快速:        电动+手动

 7.坩埚杆炉内行程:        ~450mm

 8.电极支承中心距:         400mm

 9.冷却水压:               0.15~0.3MPa 5T/h

10. 主机外型尺寸:          2000×1800×4300