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籽晶运动装置

产品简介：籽晶运动装置是硅单晶生长炉的重要组成部分，其功能是实现籽晶软轴的旋转和移动，要求具有很高的运行精度、平稳性、安全性。该装置可配置与各种大型硅单晶炉，也可按用户要求设计、制作。

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坩埚运动装置

坩埚运动装置是硅单晶生长炉的重要组成部分，其功能是实现坩埚的旋转和随动，要求具有很高的运行精度、平稳性、安全性。该装置可配置与各种大型硅单晶炉，也可按用户要求设计、制作。

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LJ-PVT70型碳化硅晶体生长炉

利用高温升华法生长三代半导体—碳化硅晶体材料，由工控机实现速度、温度、炉内压力等全自动控制，配置新型DSP+IGBT结构的高频感应加热电源，在可控的局部压力状态下运行。

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